Технология полупроводникового кремния

Купить бумажную книгу и читать

Название: Технология полупроводникового кремния

Автор: Фалькевич Э.С.(ред.)

Издательство: Металлургия

Год: 1992

Страниц: 408

ISBN: 5-229-00740-0

Формат: DJVU

Размер: 5.2 Мб

Язык: русский

Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния, процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное, способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.

Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности, студентов.

Оглавление

Предисловие

Физико-химические основы получения полупроводникового кремния

Современные представления о строении веществ

Кинетические явления

Основы термодинамики

Механизм фазового перехода

Структура межфазной границы раздела

Рост кристаллов из жидкой и газовой фаз

Свойства полупроводникового кремния и методы их контроля

Физико-химические свойства кремния

Параметры и методы их определения

Методы получения чистого кремния, оборудование и технология промежуточных кремниисодержащих соединений

Производство чистого кремния

Получение технического кремния

Получение силанов

Очистка соединений кремния методом ректификации

Контроль качества кремний со держащих соединений

Технология и оборудование для получения поликристаллических кремниевых стержней

Получение кремниевых стержней в процессе водородного восстановления хлорсиланов

Получение кремниевых стержней термическим разложением силана

Выращивание монокристаллов кремния из расплава

Метод Чохральского

Бестигельная зонная плавка

Чистота и микроклимат в производственных помещениях

Вспомогательные технологические газы и оборудование

Технологические газы

Криогенная техника

Холодильные машины

Вакуумное оборудование

Очистка воды

Материалы аппаратов

Основные элементы техники безопасности

Библиографический список