Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок

Купить бумажную книгу и читать

Автор: Васичев Б. Н.

Название: Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок

Издательство: Металлургия

Год: 1977

Страниц: 240

Формат: DJVU

Размер: 3,7 МБ

Качество: Отличное, 600дпи, цветные обложки и ч/б иллюстрации

Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронномикроскопиче-ских объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление — электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т. д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов. Книга рассчитана на инженерно-технических работников — физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.