Технология тонких пленок. Справочник (в 2-х томах)

Купить бумажную книгу и читать

Книга: Технология тонких пленок. Справочник (в 2-х томах)

Автор: Л. Майссел, Р. Глэнг

Издательство: Советское радио

Страниц: 664 + 768

Формат: DJVU

Размер: 31,39 Мб

Качество: Нормальное

Язык: Русский

Год издания: 1977

Аннотация:

Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2 — гл. 8—21.

В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии.

Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов.

Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.