Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Лабиринт".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgCADz8.

Название: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Автор:

Издательство: Энергоатомиздат

Год: 1989

Формат: DjVu

Язык: русский

Cтраниц: 327

Размер: 5 МБ

Для сайта:

Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Скачать книгу Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Дата создания страницы: