Производство полупроводниковых материалов

Купить бумажную книгу и читать

Автор: Нашельский А.Я.

Название: Производство полупроводниковых материалов

Издательство: М.: Металлургия

Год: 1982

Формат: DJVU

Размер: 4 mb

Для сайта:

Учебное пособие.

Изложены краткие сведения об основных материалах современной полупроводниковой электроники, строении и росте кристаллов, основных положениях физики полупроводников, свойствах и марках монокристаллов важнейших полупроводников. Приводятся данные об основных и вспомогательных материалах полупроводникового производства, процессах и технологии поликристаллических полупроводников. Рассмотрены основные положения технологии выращивания однородно легированных монокристаллов с совершенной структурой методами направленной кристаллизации, приведены примеры расчетов легирования, а также вопросы экономики производства монокристаллов полупроводников, охраны труда и техники безопасности. Для подготовки рабочих на производстве и учащихся ПТУ.

Предисловие

Общие сведения о полупроводниках

Полупроводниковая электроника и ее основные материалы

Диаграммы состояния полупроводниковых систем

Строение кристаллов и их дефекты

Рост кристаллов

Основные положения физики полупроводников

Свойства и марки важнейших полупроводников

Материалы полупроводникового производства

Чистое вещество

Основные и вспомогательные материалы

Процессы технологии поликристаллических полупроводников

Получение поликристаллических полупроводников

Технологические основы получения монокристаллов

Расчеты легирования

Компоновка

Получение однородно легированных монокристаллов

Получение монокристаллов с совершенной структурой

Получение высокочистых монокристаллов

Аппаратура для выращивания монокристаллов

Экономика и организация труда в полупроводниковой технике

Экономика производства монокристаллов

Некоторые вопросы охраны труда и техники безопасности

Рекомендательный библиографический список

Приложение