Купить бумажную книгу и читать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.
Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.
Автор: Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В.
Название: Технология кремниевой наноэлектроники
Издательство: Томск: В-Спектр
Год: 2011
Страниц: 263
Формат: PDF
Размер: 3.69 Мб
Для сайта:
В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение металлов и диэлектриков, химико-механическая планаризация. Изложены технологические маршруты формирования СБИС.
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.
Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.
Дата создания страницы: