Вакуумное нанесение тонких пленок

Купить бумажную книгу и читать

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.

Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.

Название: Вакуумное нанесение тонких пленок

Автор:

Издательство: Энергия

Год: 1967

Формат: pdf

Количество страниц: 312

Размер: 5 Mb

В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.

Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.

Дата создания страницы: