Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Буквоед".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Bookvoed" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: 5jtCeReLm1S3Xx3LfAELCUa.

Автор:

Название: Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Издательство: Ленинград: Политехника

Год: 1991

Страниц: 287

Формат: djvu

Размер: 4.52 Мб

Для сайта:

В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.

Дата создания страницы: