По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Лабиринт".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.
Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgCADz8.
Автор:Громов Д.Г.
Название: Металлизация в системах с наноразмерными элементами
Издательство:М.: МИЭТ
Год: 2011
Страниц:204
Формат: PDF
Размер: 7.11 Мб
Для сайта:
Рассмотрены с физико-химических позиций развитие систем металлизации кремниевых интегральных схем, выбор материалов функциональных слоев металлизации и процессы формирования элементов металлизации. Приведены закономерности взаимодействия в различных силицидообразующих системах металл - кремний и особенности формирования силицидных контактных слоев; принципы выбора материалов диффузионно-барьерных
слоев; различные физико-химические методы заполнения узких траншей и контактных колодцев проводящим материалом для создания межсоединений посредством технологии «Damascene».
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать