Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Лабиринт".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgCADz8.

Название: Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

Автор: Гриценко В.А.

Издательство: Новосибирск: Наука

Год: 1993

Формат: djvu

Размер: 13 мб

Cтраниц: 280

Язык: русский

В книге представлены результаты фундаментальных исследований по строению, электронной структуре, оптическим свойствам (включая фотоэмиссию), природе глубоких центров в наиболее важных диэлектриках кремниевых интегральных схем — аморфных нитридах и окислах кремния (SiO2, Si3N4, SiOx. SiNxOy, SiNx:H). Отличительной особенностью настоящего издапия является обсуждение физических свойств во взаимосвязи с атомным составом и технологией.

Монография представляет интерес для физиков (теоретиков и экспериментаторов), работающих в области физики неупорядоченных конденсированных систем, для разработчиков полупроводниковых приборов и микросхем.

Дата создания страницы: