Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.

Название: Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

Автор: Гриценко В.А.

Издательство: Новосибирск: Наука

Год: 1993

Формат: djvu

Размер: 13 мб

Cтраниц: 280

Язык: русский

В книге представлены результаты фундаментальных исследований по строению, электронной структуре, оптическим свойствам (включая фотоэмиссию), природе глубоких центров в наиболее важных диэлектриках кремниевых интегральных схем — аморфных нитридах и окислах кремния (SiO2, Si3N4, SiOx. SiNxOy, SiNx:H). Отличительной особенностью настоящего издапия является обсуждение физических свойств во взаимосвязи с атомным составом и технологией.

Монография представляет интерес для физиков (теоретиков и экспериментаторов), работающих в области физики неупорядоченных конденсированных систем, для разработчиков полупроводниковых приборов и микросхем.

Дата создания страницы: