Физические основы надежности интегральных схем

Купить бумажную книгу и читать

Название: Физические основы надежности интегральных схем

Автор: Горлов М.И., Данилин Н.С.

Издательство: МАКСПресс

Год: 2008

Страниц: 404

ISBN: 978-5-317-02303-4

Формат: DJVU

Размер: 10.3 Мб

Язык: русский

В учебном пособии на основе современных физических представлений освещаются основы надежности интегральных схем (ИС). Большое внимание уделено методам повышения надежности выпускаемых партий ИС как в процессе изготовления, так и в процессе отбраковочных испытаний. Рассмотренны дефекты, возникающие в ИС при воздействии электростатических зарядов и радиации.

Издание соответствует требованиям государственного стандарта по направлению 210100 "Электоника и микроэлектроника", специальности "Микроэлектроника и твердотельная электроника".

Оглавление

Основные понятия теории качества и надежности

Критерии и количественные показатели надежности

Зависимости между основными характеристиками надежности

Примеры решения задач по надежности

Общее представление об отказах интегральных схем

Физическая модель отказов

Механизмы внезапных и постепенных отказов

Структурные дефекты компонентов БИС

Общие дефекты в твердых телах

Дефекты к времниевой подложке

Механизм образования "отрицательных нитиевидных кристаллов"

Растворения кремния алюминием

Дефекты пленок поликристаллического кремния

Нитиевидные кристаллы

Рост аморфных нитей

Дефекты структуры диэлектрических слоев

Локализованные дефекты структуры и состава диэлектрических слоев

Химические и физические нелокализованные дефекты

Механизмы отказов интегральных схем и их компонентов

Механизмы внезапных отказов диодов и биполярных транзисторов

Постепенные отказы диодов и биполярных транзисторов ИС

Отказы пассивных элементов ИС

Механизмы отказов МДП ИС

Механизмы катострофических отказов МДП транзисторов

Механизмы постепенных отказов МДП транзисторов

Электрическое старение тонких пленок SiO2

Примеры причин отказов

Самоустраняющиеся отказы

Разрушение кремниевых кристаллов БИС после монтажа металлокерамические корпуса

Дефекты металлизации на кристалле ИС

Виды дефектов внутренних соединений интегральных схем

Коррозия алюминиевой метллизации кремниевых ИС

Механизмы коррозии алюминия на кристалле ИС

Примеры возниконовения коррозионных отказов металлизации

Коррозия алюминиевой металлизации из-за неправильного выбора последовательности технологических операций

Коррозия алюминиевой металлизации из-за несовершенства метода контроля герметичности

Коррозия алюминиевой метллизации из-за загрязнения корпусов

Коррозия алюминиевой металлизации из-за загрязнения корпусов

Коррозия алюминиевой металлизации из-за неконтроллируемого содержания фосфора в фосфоросиликатном стекле

Коррозия алюминиевой металлизации ИС в пластмассовых копусаз из-за попаданиятравителей

Отбраковочные испытания как средство повышения надежности партий ИС

Состав отбраковочных испытаний

Электротренировка

Электротемотренировка

Термотренировка

Продолжительность тренировок

Анализ данных по результатам тренировки

Эффективность отбраковочных испытаний для выявления ИС с дефектами внешнего вида кристаллов

Повышение надежности ППИ методом выравнивающей технологии

Модели процессов отказов ИС

Модель нагрузка-прочность

Модель накопления нагрузки

Влияние длительного воздействия температуры нанадежность термокомпрессионных соединений

Воздействие электростатических зарядов на полупроводниковые изделия

Природа возникновения электростатических зарядов при производстве полупроводниковых изделий

Результаты воздействия электростатических разрядов на полупроводниковые изделия

Коллективные и индивидуальные меры защиты от воздействий статических зарядов

Конструктивно технологические методы повышения стойкости ИС к воздействию ЭСР

Встроенная защита МДП ИС

Схемы защиты МДП ИС

Схемы защиты используемые в отечестенной электронной промышленности

Встроенная защита биполярных ИС от воздействия ЭСР

Особенности встроенной защиты БиКМПОП ИС

Влияние радиации на ИС

Источники радиации

Радиационные повреждения в кремниевых ИС

Влияние радиации на биполярные ИС

Влияние радиации на МДП схемы

Воздействие ренгтгеновского изучения на ИС

Влияние конструктивно технологических факторов надиационную стойкость ИС

Статистические и графические методы исследования качества и надежности ИС