Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей

Купить бумажную книгу и читать

Автор: Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н.

Название: Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей

Издательство: Энергоатомиздат

Год издания: 1986

Формат: PDF

Язык: русский

Cтраниц: 250

Размер: 24 МБ

Рассмотрены физические принципы получения, фокусировки и транспортировки многоамперных ионных и атомных пучков. Описаны современные плазменные источники ионов водорода, дейтерия, инертных газов, тугоплавких элементов. Показаны достижения и перспективы создания пучков атомов дейтерия мощностью от единиц до сотен мегаватт. Изложены основные закономерности процесса ионного (катодного)* распыления. Обобщен накопленный, опыт по разнообразным технологическим применениям потоков ионов: очистке поверхностей от загрязнений, ионной обработке, шлифовке, травлению, получению покрытий ионным распылением и осаждением различных элементов и химических соединений. Указываются перспективы ионного легирования сталей и повышения их физико-химических свойств, ионного микроанализа поверхностей, получения сложных профилей с субмикронными размерами с целью более широкого использования ионных потоков и пучков в промышленности, научных исследованиях и разработках. Для научных работников, инженеров, технологов, работающих в области технической физики, термоядерных и электрофизических исследований, металлофизики, а также преподавателей, аспирантов и студентов вузов соответствующих специальностей.

Оглавление

Предисловие

Ионные источники, плазменный эмиттер и первичное формирование ионных пучков

Фокусировка и транспортировка ионных пучков.

Сильноточные истбчники ионов и инжекторы быстрых атомов для термоядерных установок

Закономерности и теории распыления металлов ионами.

Ионная очистка и фрезерование поверхностей твердых тел.

Ионная шлифовка и выявление структуры твердых веществ.

Нанесение пленок ионным распылением.

Ионное осаждение пленок и плакировка поверхностей.

Сварка ионным пучком, микроанализ и микрообработка твердых тел ионными зондами.

Список литературы.

Предметный указатель.