Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов

Купить бумажную книгу и читать

Автор: Крапухин В.В., Соколов И.Л., Кузнецов Г.Д.

Название: Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов

Издательство: М. Металлургия

Год: 1982

Формат: djvu

Размер: 5 mb

Изложены основы термодинамики необратимых процессов и общие закономерности кинетики гомогенных и гетерогенных процессов, в которых наиболее существенное значение имеют процессы тепло- и массопереноса в неподвижной и движущейся средах. Рассмотрены процессы получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов, а также процессы зародышеобразования, роста кристаллов и причины возникновения дефектов структуры. Даны алгоритмы и блок схемы для решения задач. Для научных работников, инженеров и студентов, занимающихся получением монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов.

Содержание:

Предисловие

Общие закономерности процессов получения полупроводниковых материалов

Термодинамика фазовых равновесий

Основные термодинамические соотношения для растворов

Концентрационная и температурная зависимости коэффициента активности

Равновесие жидкость-твердое

Равновесие жидкость-пар

Равновесия твердое-пар и жидкость-твердое-пар

Явления на границе раздела фаз

Термодинамика необратимых процессов

Основные положения термодинамики необратимых процессов

Приложение основных положений термодинамики необратимых процессов к процессам тепло- и массообмена

Поток теплоты и массы в разбавленных растворах и бинарной смеси идеальных газов

Массо- и теплообмен в неподвижной среде

Дифференциальные уравнения нестационарных процессов массо- и теплообмена в неподвижной среде

Применение теории подобия и моделирования для решения дифференциальных уравнений теплообмена в неподвижной среде

Теплопередача в стационарных условиях. Использование ЭВМ для решения задач

Конвективный тепло- и массообмен. Кинетика гетерогенных процессов

Дифференциальные уравнения движения среды. Критерии подобия

Режимы движения среды. Распределение скорости в сечении трубы при ламинарном и турбулентном движении

Особенности движения разреженных газов

Дифференциальные и критериальные уравнения конвективного массо- и теплообмена

Явления на границе раздела фаз в процессах конвективного тепло- и массообмена. Динамический, диффузионный и тепловой пограничные слои

Кинетика гетерогенных процессов

Основы атомно-молекулярных процессов кристаллизации

Основные модели роста кристаллов

Атомная структура кристаллической поверхности

Начальные стадии формирования кристалла

Кинетика роста кристалла

Передача теплоты излучением

Основные закономерности теплообмена излучением

Теплообмен излучением между двумя поверхностями в замкнутом пространстве

Тепловые потери при наличии экранной изоляции. Алгоритм расчета на ЭВМ

Процессы получения полупроводниковых материалов

Процессы получении пленок, эпитаксиальных слоев и монокристаллов дистилляцией и сублимацией

Примеры использования процессов дистилляции и сублимации

Основные закономерности процессов дистилляции и сублимации

Кинетика процессов дистилляции и сублимации

Молекулярная дистилляция и сублимация

Кинетические особенности получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев разлагающихся полупроводниковых соединений дистилляцией и сублимацией

Процессы ректификации и абсорбции

Принцип действия и рабочие линии ректификационных колонн

Кинетика массообмена в ректификационных колоннах различного типа

Расчет процесса ректификации

Ректификация многокомпонентных систем и ее расчет

Рабочая линия и расчет процесса абсорбции

Процессы получения эпитаксиальных слоев и высокочистых элементов водородным восстановлением

Основные типы процессов водородного восстановления

Термодинамика процесса водородного восстановления при одновременном протекании нескольких реакций

Кинетика процесса водородного восстановления. Лимитирующие стадии процесса

Легирование при получении эпитаксиальных слоев и полупроводниковых кристаллов водородным восстановлением из галогенидов

Процессы получения эпитаксиальных слоев и монокристаллов методом химических транспортных реакций

Некоторые примеры использования химических транспортных реакций для получения эпитаксиальных слоев. Термодинамическое обоснование возможности химического транспорта и очистки в процессе переноса

Термодинамика процесса химического транспорта в сложных системах

Кинетика процесса химического транспорта

Процессы кристаллизации из расплавов

Основные методы кристаллизации из расплавов. Уравнения материального баланса компонентов и баланса объемов

Распределение примеси в кристаллах, полученных методами нормальной направленной кристаллизации, Чохральского и зонной перекристаллизации

Влияние диффузии в жидкой фазе на распределение примеси

Движение расплава и эффективный коэффициент распределения примеси

Влияние взаимодействия с паровой фазой на распределение примеси в кристалле

Получение монокристаллов с равномерным распределением легирующей примеси по длине программированием параметров процесса

Получение методом Чохральского монокристаллов с равномерным распределением примеси по длине при подпитке расплавом

Тепловые процессы при росте монокристаллов

Процессы кристаллизации из растворов-расплавов

Разновидности методов жидкофазной эпитаксии к получения монокристаллов из растворов-расплавов

Кинетика кристаллизации при молекулярной диффузии в растворе-расплаве

Рекомендательный библиографический список

| |