Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов

Купить бумажную книгу и читать

Название: Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов

Автор: Миллер Д. (ред.)

Издательство: Радио и связь

Год: 1989

Страниц: 280

Формат: djvu

Размер: 5,7 МБ

ISBN: 5-256-00228-7

Качество: хорошее

Для сайта:

В книге представлены доклады известных специалистов из разных стран на IV Международной конференции по моделированию полупроводниковых приборов и интегральных схем, проходившей в июне 1985 г. в г. Дублине.

Рассматриваются вопросы моделирования электрофизических характеристик приборов и технологических процессов, применяемых при их изготовлении. Большое внимание уделено используемым численным методам и описанию пакетов прикладных программ. Широко представлены результаты двумерного моделирования различных полупроводниковых приборов, а также процессов диффузии и окисления. Наряду с традиционной диффузионно-дрейфовой моделью в ряде работ для анализа характеристик приборов используются гидродинамическая модель и метод частиц. Основное внимание уделяется кремниевым приборам, но в ряде работ рассматриваются свойства, характерные для приборов на основе соединений А3В5. Кратко затрагиваются вопросы схемотехнического анализа, моделирования литографии, травления, осаждения, ионной имплантации, воздействия светового и ионизирующего излучений.