Купить бумажную книгу и читать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.
Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К. и др.
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1984
Страниц: 336
Формат: djvu
Размер: 4.31 Mб
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.
Дата создания страницы: