Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник

Купить бумажную книгу и читать

Название: Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник

Автор: Ржанов А.В. (отв.ред.)

Издательство: М.: Наука

Год: 1976

Формат: djvu

Размер: 10 мб

Cтраниц: 280

Язык: русский

Монография посвящена механизмам рассеяния носителей заряда в инверсионных каналах, процессам захвата их на поверхностные состояния границы раздела полупроводник — диэлектрик и состояния в диэлектрике. Рассмотрены вопросы протекания тока через диэлектрик и вопросы нестабильности МДП-структур, а также механизмы генерации неосновных носителей заряда в них при неравновесных условиях.

Обсуждаются также структуры приповерхностной области полупроводника и связанные с этим методики исследования.

Монография будет полезна широкому кругу специалистов по физике полупроводников, специалистам в области научных основ микроэлектроники, инженерам, занимающимся разработкой элементов интегральной микроэлектроники на основе МДП.