Методы измерения параметров полупроводниковых материалов

Купить бумажную книгу и читать

Методы измерения параметров полупроводниковых материалов

Название: Методы измерения параметров полупроводниковых материалов

Автор: Павлов Л.П.

Издательство: Высшая школа

Год: 1987

Страниц: 239

Формат: DJVU

Размер: 3.6 Мб

Язык: русский

Целью курса «Методы измерения параметров полупроводниковых материалов» является изучение экспериментальных методов измерения параметров, которые являются основными для производственного контроля качества полупроводниковых материалов и структур и составляют основу многих методов исследования в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов.

Основное внимание в книге уделено методам измерения удельной электрической проводимости, концентрации носителей заряда и легирующих примесей, подвижности основных и неосновных носителей заряда, коэффициента диффузии, диффузионной длины и объемного времени жизни неосновных носителей заряда, объемного генерационного времени неравновесных носителей заряда, скорости поверхностной рекомбинации, параметров глубоких уровней и некоторых других параметров.

Изложение базируется главным образом на материалах предыдущих курсов «Физика полупроводников» и «Радиотехника и радиоизмерения».