Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Буквоед".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Bookvoed" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: 5jtCeReLm1S3Xx3LfAELCUa.

Название: Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

Автор:

Издательство: Машиностроение

Год: 1987

Формат: pdf

Количество страниц: 72

Размер: 1,2 Mb

В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Буквоед".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Bookvoed" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: 5jtCeReLm1S3Xx3LfAELCUa.

Дата создания страницы: