Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
Купить бумажную книгу и читать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.
Название: Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
Автор:Данилин Б.С.
Издательство:Машиностроение
Год: 1987
Формат: pdf
Количество страниц:72
Размер: 1,2 Mb
В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.