Купить бумажную книгу и читать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.
Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2006
Страниц: 192
ISBN: 5-94836-039-3
Формат: PDF
Размер: 4.2 Mб
Язык: русский
Серия: Мир электроники
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.
Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.
Дата создания страницы: