Получение тонкопленочных элементов микросхем

Купить бумажную книгу и читать

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.

Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.

Автор:

Название: Получение тонкопленочных элементов микросхем. Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Издательство: Энергия

Год: 1977

Страниц: 136

Формат: DJVU

Размер: 3,3 МБ

Качество: Отличное, 600дпи, цветные обложки и ч/б иллюстрации

В книге в краткой и доступной для читателя форме рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Описывается аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, и рассматриваются способы получения требуемой конфигурации тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Книга предназначена для работников радиотехнической и электронной промышленности, занимающихся проектированием и изготовлением радиоэлектронной аппаратуры с использованием тонкопленочной технологии.

Дата создания страницы: