Лазерная термометрия твердых тел

Купить бумажную книгу и читать

Название: Лазерная термометрия твердых тел

Автор: Магунов А. Н.

Издательство: ФИЗМАТЛИТ

Год издания: 2001

Страниц: 224

ISBN: 5-9221-0222-2

Формат: DJVU+OCR

Размер: 2,2 МБ

Качество: Отличное, 600дпи, текстовой слой.

Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.