Купить бумажную книгу и читать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.
Автор: Моро У.
Название: Микролитография
Издательство: Мир
Год: 1990
Формат: PDF
Размер: 84,4 Мб
Для сайта:
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.
Купить бумажную книгу или электронную версию книги и скачать
По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".
Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.
Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.
Дата создания страницы: