Физические основы электронной и ионной технологии

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.

Название: Физические основы электронной и ионной технологии

Автор: Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И.

Издательство: Высшая школа

Год: 1984

Формат: djvu

Размер: 3 мб

Cтраниц: 323

Язык: русский

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.

Содержание

Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.

Движение ускоренных электронов в веществе.

Образование радиационных дефектов при облучении ионами.

Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.

Модификация свойств твердых твердых тел ионной бомбардировкой.

Распыление твердых тел ионами.

Движение ускоренных электронов в веществе.

Основы электронно-лучевой обработки материалов.

Дата создания страницы: