Физические основы электронной и ионной технологии

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Лабиринт".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgCADz8.

Название: Физические основы электронной и ионной технологии

Автор: Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И.

Издательство: Высшая школа

Год: 1984

Формат: djvu

Размер: 3 мб

Cтраниц: 323

Язык: русский

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.

Содержание

Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.

Движение ускоренных электронов в веществе.

Образование радиационных дефектов при облучении ионами.

Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.

Модификация свойств твердых твердых тел ионной бомбардировкой.

Распыление твердых тел ионами.

Движение ускоренных электронов в веществе.

Основы электронно-лучевой обработки материалов.

Дата создания страницы: