Физические основы микротехнологии

Купить бумажную книгу и читать

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "МИФ".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "MIF" online store.

Реклама. ООО «МИФ», ИНН: 7703809969, erid: LatgBY5SL.

Название: Физические основы микротехнологии

Автор:

Издательство: Мир

Год: 1985

Страниц: 496

Формат: PDF

Размер: 22 Mб

Язык: русский

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.

Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники. Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.

Дата создания страницы: