Физические основы микротехнологии

Купить бумажную книгу и читать

Купить бумажную книгу

По кнопке выше можно купить бумажные варианты этой книги и похожих книг на сайте интернет-магазина "Читай Город".

Using the button above you can buy paper versions of this book and similar books on the website of the "Labyrinth" online store.

Реклама. ООО «Новый Книжный Центр», ИНН: 7710422909, erid: MvGzQC98w3Z1gMq1kx5ACoy5.

Название: Физические основы микротехнологии

Автор:

Издательство: Мир

Год: 1985

Страниц: 496

Формат: PDF

Размер: 22 Mб

Язык: русский

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.

Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники. Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.

Дата создания страницы: